真空泵维修的注意事项和关键步骤，涵盖安全、技术要点及常见故障处理，适用于旋片泵、罗茨泵、扩散泵等常见类型：
一、维修前准备
安全防护
断电/泄压：关闭电源，确认泵内真空降至大气压。
防护装备：戴耐化学手套（防油污）、护目镜（防碎屑）。
有害物质：若泵介质为有毒气体（如氯气），需先氮气置换。
故障诊断
记录症状：
抽速下降？异常噪音？油乳化？
使用真空计检测极限真空度是否达标。
初步判断：
油窗发白 → 进水乳化（需换油+检查密封）。
金属摩擦声 → 轴承或转子磨损。
二、维修关键步骤与注意事项
1. 放油与清洁
操作：
排空旧油（收集处理，避免污染）。
用无绒布+专用溶剂（如丙酮）清洁油箱，禁用汽油（腐蚀密封件）。
注意：
若油含颗粒物，需排查磨损源（如旋片碎片）。
2. 密封系统检查
重点部位：
轴封（机械密封或油封）
排气阀片（是否开裂）
O型圈（老化发硬需更换）
更换技巧：
涂硅脂润滑新密封圈，避免扭曲安装。
3. 转子与旋片维护
旋片泵：
检查旋片长度磨损（超过0.5mm需更换）。
测量转子与泵腔间隙（标准通常≤0.05mm）。
罗茨泵：
检查齿轮啮合间隙（需专用塞尺测量）。
4. 轴承更换
选型：
优先原厂轴承（如NSK、SKF），禁用普通轴承（真空高温易失效）。
安装：
热装法（加热轴承至80-100℃后套轴）。
5. 电气部件检测
电机：
测绝缘电阻（≥1MΩ）。
检查碳刷磨损（直流电机）。
传感器：
校验真空传感器读数（对比标准计）。
维修后测试
空载试运行：
点动启动，观察电流是否正常（对比铭牌值）。
听运行噪音（应无金属摩擦/周期性异响）。
性能验证：
用真空计测量极限真空（如旋片泵应达1×10⁻² Pa级）。
保压测试（关闭进气阀，5分钟内压升≤10%为合格）。
