真空泵是一种真空获取装置，可以用物理、化学或机械的方法从容器中抽出空气，以获得和改善真空环境。真空泵有很多种，在国内很多工业领域都有应用。本文重点介绍了真空泵的分类，几种常见真空泵的性能和优缺点，并分析了我国真空泵产品的发展趋势。

真空的含义

17世纪，意大利物理学家托里拆利揭示了“真空”的存在。真空是指给定空间内气体压力低于一个大气压的气体状态。没有完全气体的状态叫做绝对真空。一般来说，我们指的是相对真空，也就是说，在所能达到的最低压力下，每立方米气体中仍有几个气体分子。

在真空技术中，通常用“真空度”和“压力”来表示真空度。空间压力越低，真空度越高，压力越高，真空度越低。根据各压力范围内物理特性的不同，真空一般分为粗真空、低真空、高真空和超高真空。

真空泵的分类及其发展趋势:真空泵的分类

进入20世纪以来，真空技术不断发展，真空设备的种类越来越多，应用领域也逐渐扩大。根据真空泵的工作原理，可分为输气泵和集气泵两种基本类型。气泵主要是不断地吸入和排出空气，以达到抽气的目的。气体捕获泵通过允许气体分子被吸附或冷凝在泵的内表面上来减少容器中气体分子的数量。

真空泵的分类及发展趋势

几种常见的工业真空泵及其发展趋势

水环真空泵是一种可变排量泵，它可以清除易燃、易爆和腐蚀性气体，以及含有灰尘和水分的气体。真空泵具有结构简单、易于维护、磨损小、安全性高、对输送气体无污染等优点，但也有效率低、真空度低(真空差)的缺点。水泵的主要原材料是铸件，加工容易，劳动强度大。所以国产比进口泵更有价格优势，目前被广泛使用。目前国内液环泵生产厂家主要应从减重、体积、能耗、效率等方面改进产品。

旋片真空泵是最基本的真空获取设备之一。是一种油封式机械真空泵，适用于真空包装、真空成型、真空抽气等封闭系统的抽气。但不能用于去除含氧量高、对金属有腐蚀性、与泵油有化学反应和颗粒粉尘的气体，也不能去除水或其他液体。旋片真空泵具有体积小、重量轻、噪音低等优点。，并能获得高真空度。国产旋片泵已达到技术标准，价格远低于进口泵，具有一定的竞争优势。目前旋片真空泵需要解决的主要问题是旋片材料、轴封漏油等。以及能去除水汽的旋片真空泵的开发。

滑阀真空泵属于油封变容真空泵，可用于抽一般气体或含少量冷凝液。与旋片真空泵相比，滑阀真空泵具有能在高压(104 Pa)下工作、泵送能力大、能在恶劣工况下使用、经久耐用等优点。主要用于真空精炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等。泵滑阀铸件重，加工工作量大，所以国外很多厂家希望和国内真空泵企业合作。为了加快进口替代，国产滑阀泵需要在降低振动噪声、防止喷油和漏油等方面对产品进行优化。

Roots 真空泵具有启动快、功耗低、泵速高的优点。它能抽出含有水蒸气和灰尘的气体，并能迅速抽出突然释放的气体。使用罗茨泵可以减少泵送时间，提高生产效率。目前，国产罗茨泵的市场份额小于进口产品。为了抢占国内市场，进入国际市场，国内企业需要通过降低振动噪声、解决轴封漏油、提高泵的平稳性和清洁度来改进国内产品。

干螺真空泵是一种新型真空采集设备，具有可靠性高、寿命长、动平衡好、适应性强、多相混合输送等特点。它可以去除腐蚀性、有毒、含尘气体、可冷凝蒸汽和其他气体。干式泵被广泛使用。代表行业有半导体行业、化工行业、电影行业等。这三个行业的需求是干式泵市场的主要驱动力。美国和欧洲大约一半的半导体行业使用干式真空泵代替油封机械泵。目前国内干式真空泵很少使用，市场份额不到1%。中国半导体行业主要使用进口干泵。因此，应加强国内干式真空泵的研发，使干式真空泵成为中国真空产业新的经济增长点。

结论

经过长期的发展，真空泵已经有了很多类型和应用领域。每一类真空泵都有不同的优秀特质和表现。用户应根据各自的工作条件、真空要求等因素考虑如何选择真空泵。目前，我国真空行业应重视国内真空泵产品的升级，抢占更多国内市场，进军国际市场。