1.真空泵工作时产生的振动对工艺流程和环境有影响吗？如果工艺不允许，应选择无振动泵或采取防振措施。

2.了解泵送气体的成分，气体中是否含有可凝蒸汽、颗粒粉尘、腐蚀性等。选择真空泵时，需要了解气体成分，为泵送的气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体，应考虑在泵的入口管道上安装辅助设备，如冷凝器和除尘器。

3.在其工作压力下，真空泵应能排出真空设备过程中产生的所有气体。

4.正确组合真空泵。由于真空泵的选择性泵送，有时一台泵无法满足泵送要求，需要几台泵组合起来，相互补充才能满足泵送要求。

比如钛升华泵对氢气有很高的抽速，但不能抽氦气，而三极溅射离子泵(或两极不对称阴极溅射离子泵)对氩气有一定的抽速。如果将两种泵组合起来，真空装置将获得更好的真空度。

另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有些真空泵出口压力低于大气压，所以需要前级泵，所以需要所有泵组合使用。

5.真空设备对油污的要求。如果设备严格无油，则应选用各种无油泵，如水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选用油泵，以及一些防油污措施，如加装冷阱、挡板、集油器等。，也能满足洁净真空的要求。

6.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围。所以泵的工作点要选在这个范围内，不能长时间在25~30mmHg下工作。

7.真空泵排出的油气如何影响环境？如果不允许污染环境，可以选择无油真空泵，或者将油蒸气排到室外。

8.真空泵的工作压力应满足极端真空和真空设备工作压力的要求。例如，真空干燥过程需要10mmHg的工作真空，真空泵的选定极限真空应该至少为2mmHg，优选高达1mmHg。通常，泵的极限真空度选择为比真空设备的工作真空度高半个到一个数量级。

9.真空泵的价格、运转及维修费用。